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發布時間：2012-04-26 12:21:00 點擊：
真空泵的種類及其工作范圍
| 真空泵 | 工作范圍(托) | 真空泵 | 工作范圍(托) | |
| 旋片真空泵 | 760~5×10-4 | 往復真空泵 | 760~10-2 | |
| 滑閥真空泵 | 760~5×10-3 | 吸附泵 | 760~10-4 | |
| 油增壓泵 | 10-1~10-4 | 濺射離子泵 | 10-4~10-10 | |
| 羅茨真空泵 | 10-1~10-4 | 鈦升華泵 | 10-3~10-10 | |
| 油擴散泵 | 10-3~5×10-7 | 分子泵 | 10-3~10-10 | |
| 水環真空泵 | 760~25 | 低溫泵 | 10-3~10-10 |
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